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    MPCVD方法金刚石膜沉积技术
    金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料，尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点，使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景。目前，以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟。本文将针对微波电真空器件这一应用背景，简要介绍国内外高品质金刚石膜MPCVD沉积...
    2015-08-24 赞 (6) 踩(0) 回复(0)
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